描述
产品核心摘要
- 型号：1880-020069-21
- 品牌：TEL (东京电子 / Tokyo Electron)
- 系列：半导体制造设备射频电源组件
- 核心功能：射频电源阻抗匹配与等离子体工艺控制 成色：全新原装 (New Surplus)，非翻新
- 产品类型：射频电源匹配器 (RF Matcher)
- 关键规格：输入频率 13.56 MHz、额定功率 3000 W、冷却方式 水冷
产品深度介绍
TEL 1880-020069-21 是东京电子（Tokyo Electron）半导体设备中核心的射频电源匹配器组件。它主要用于等离子体刻蚀机、化学气相沉积（CVD）等半导体制造设备，通过实时动态调整射频电源的阻抗，确保电源能量高效传输至反应腔体，从而维持等离子体的稳定生成与工艺均匀性。该匹配器具备极高的响应速度和精准的控制算法，能够适应复杂的半导体工艺波动。它采用工业级高可靠性设计，支持标准 13.56 MHz 射频输入，并配备高效的水冷散热系统。作为半导体产线的关键备件，1880-020069-21 能够有效降低因阻抗失配导致的电源反射功率过高问题，保障晶圆加工良率与设备持续稳定运行。
关键技术规格
- 设备类型：射频电源匹配器 (RF Matcher)
- 输入频率：13.56 MHz
- 额定功率：3000 W
- 输入阻抗：50 Ω
- 冷却方式：水冷 (需连接去离子水循环系统)
- 工作温度：10°C 至 40°C
- 相对湿度：20% 至 80%（非冷凝）
- 通讯接口：RS-232 / RS-485
- 安装方式：机架式安装
- 适用设备：东京电子刻蚀机、CVD等半导体设备
