LAM 719-101612-887 静电吸盘组件

描述

概述

LAM 719-101612-887是一款用于等离子体刻蚀机的静电吸盘组件。它由多种部件组成，包括：

基板

吸盘

真空管路

电源供应

控制单元

719-101612-887组件用于将晶圆牢固地吸附在等离子体刻蚀机的腔室中，以便进行刻蚀工艺。该组件具有以下特点：

高精度：可确保晶圆的精确定位，从而获得均匀的刻蚀效果。

高可靠性：采用可靠耐用的设计，可确保长期可靠运行。

易于维护：易于拆卸和更换部件。

应用

719-101612-887组件适用于各种等离子体刻蚀机，用于刻蚀各种类型的晶圆材料，包括硅、砷化镓、氮化镓等。

规格

基板尺寸：Ø200 mm

吸盘数量：12个

真空管路：不锈钢

电源供应：24 V DC

控制单元：可编程逻辑控制器(PLC)

深圳长欣自动化设备有限公司
主营产品：
ABB、GE、TRICONEX、FOXBORO、BENTLY、EMERSON、XYCOM、HONEYWELL、BENTLY、HIMA、YOKOGAWA、ROCKWELL、Allen-Bradley、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、WESTINGHOUSE、WOODWAED、MOTOROLA、PROSOFT、REXROTH、ACSO、丹控。等各大品牌的DCS系统配件，机器人系统配件，大型伺服系统备件。（专业停产配件，原厂正品，提供报关单，提供质保一年。)
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Email : sales@cxdcsplc.com

Shenzhen Changxin Automation Equipment Co.
Main products:
ABB, GE, TRICONEX, FOXBORO, BENTLY, EMERSON, XYCOM, HONEYWELL, BENTLY, HIMA, YOKOGAWA, ROCKWELL, Allen-Bradley, RELIANCE, SCHNEIDER, MODICON, WESTINGHOUSE, WOODWAED, MOTOROLA, PROSOFT, REXROTH, ACSO, Dan control. And other major brands of DCS system parts, robotics system parts, large servo system spare parts. (Professional discontinued parts, original genuine products, provide customs declaration, provide warranty for one year.)
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