描述
FEC MFC-S024：这款数字式质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），专为高纯气体精密控制设计！控制精度：±1% of Full Scale，供电电压：24 VDC，防护等级：IP40。内置热式传感与比例阀技术，支持多种工业气体，具备快速响应与优异重复性。广泛应用于半导体制造、实验室分析及薄膜沉积设备，是实现稳定工艺气体输送的关键部件。
FEC MFC-S024 是由日本Fujikin Engineering Corporation（简称FEC）推出的一款紧凑型数字质量流量控制器（MFC），面向对气体流量精度、响应速度和长期稳定性要求极高的应用场景。作为热式质量流量控制技术的典型代表，FEC MFC-S024 通过直接测量气体质量流量（而非体积流量），无需额外进行温度与压力补偿，即可在变化工况下保持控制准确性。该产品常用于需要精确配比或脉冲供气的先进制程设备中，如化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）及刻蚀系统。
在结构上，FEC MFC-S024 集成了高灵敏度热式传感器、高速比例控制阀（Proportional Control Valve）以及嵌入式微处理器，形成一个闭环反馈控制系统。当设定流量指令下达后，控制器实时比对实际流量与目标值，并动态调节阀门开度，通常在1秒内即可达到稳定状态。这种快速动态响应能力，使其在多步工艺切换或流量斜坡控制中表现尤为出色。同时，FEC MFC-S024 支持标准模拟（0–5V / 0–10V）与数字通信（RS485 Modbus RTU），便于集成到现代自动化平台中。
主要特点和优势
FEC MFC-S024 的一大亮点在于其“多气体兼容”能力。用户可通过设备菜单或上位机软件，在多达数十种预存气体（如N₂、Ar、O₂、H₂、He、CF₄等）之间切换，并自动调用对应的K系数（气体校正因子），无需更换硬件。这极大提升了设备的灵活性，特别适合研发实验室或小批量多品种生产的场景。此外，其全金属密封流路（通常采用SUS316L或EP级电解抛光处理）确保了超高洁净度与低析出特性，完全满足半导体行业SEMI F57标准对颗粒物和金属污染的严苛要求。
可靠性方面，FEC MFC-S024 采用无移动传感元件设计，避免了机械磨损，寿命可达数百万次循环。其内部电路具备过压、反接和短路保护功能，工作环境温度范围宽（0°C 至 +50°C），且整机通过CE认证。值得一提的是，该模块体积小巧（约80×50×30mm），可密集安装于空间受限的设备腔体中，节省宝贵的机柜空间。对于追求制程重复性与良率稳定的高端制造客户而言，FEC MFC-S024 无疑是值得信赖的流量控制解决方案。
Engineered for precision-critical applications, the FEC MFC-S024 mass flow controller delivers exceptional accuracy, fast response, and long-term stability in demanding gas delivery systems. Its thermal-based sensing technology provides true mass flow measurement independent of pressure or temperature fluctuations—ensuring consistent process results across varying operating conditions.
With built-in multi-gas calibration, digital communication options, and ultra-clean fluid paths, the FEC MFC-S024 meets the stringent requirements of semiconductor fabs, advanced materials research, and analytical instrumentation. Its compact form factor and robust design make it ideal for integration into next-generation process tools where space, purity, and control fidelity are non-negotiable.
| 参数名称 | 参数值 |
|---|---|
| 产品型号 | MFC-S024 |
| 制造商 | FEC (Fujikin Engineering Corporation) |
| 产品类型 | 数字式质量流量控制器（MFC） |
| 流量范围 | 多种可选（典型：0–100 sccm 至 0–10 L/min，依气体而定） |
| 控制精度 | ±1% of Full Scale |
| 重复性 | ±0.2% of Full Scale |
| 响应时间 | ≤1 秒（10–90% 设定点） |
| 供电电压 | 24 VDC ±10% |
| 输出信号 | 0–5V / 0–10V（可选） |
| 通信接口 | RS485（Modbus RTU 协议） |
| 防护等级 | IP40 |
| 流体接触材质 | SUS316L（EP电解抛光，Ra ≤ 0.25 μm） |
| 工作温度 | 0°C 至 +50°C |
