描述
AMAT 0090-76133半导体设备关键视窗
产品型号0090-76133
制造商Applied Materials(AMAT)
产品类型反应腔石英窗口
材质高纯熔融石英（Fused Silica）
直径约100 mm（具体依图纸）
厚度约10 mm
工作温度-30°C至+1000°C
真空等级≤1×10⁻⁹mbar·L/s（He检漏）
适用工艺等离子体刻蚀（Etch）、PVD、CVD
光学特性高紫外（UV）透射率（>90%250nm）
安装方式法兰螺栓固定，金属或弹性体密封
兼容平台AMAT Centura,Producer等系列
表面处理超精密抛光
认证标准SEMI,ISO 14644-1（洁净度）
应用领域
AMAT 0090-76133主要应用于半导体前道制造的真空工艺设备中。在300mm晶圆厂，它广泛用于AMAT的Centura刻蚀系统，用于监测多晶硅、氧化物或金属层的刻蚀过程。通过OES系统分析等离子体发光谱线，工程师可以精确判断刻蚀何时到达目标层，避免过刻或刻蚀不足。
在物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）设备中，AMAT 0090-76133也用于监控薄膜生长速率和均匀性。例如，在沉积氮化钛（TiN）阻挡层时，窗口允许激光束穿过，利用干涉原理实时测量膜厚变化。这种闭环控制极大提升了工艺窗口（Process Window）的稳定性。
此外，在先进封装（Advanced Packaging）和微机电系统（MEMS）制造中，AMAT 0090-76133同样发挥着关键作用。这些领域虽然线宽较宽，但对工艺重复性和洁净度要求极高，石英窗口的长期稳定性直接关系到产品良率。只要是使用AMAT真空工艺平台的Fab，AMAT 0090-76133都是PM清单中的标准备件之一。
相关产品
AMAT 0090-76132：类似规格的石英窗口，可能用于不同腔体位置或平台，与AMAT 0090-76133互为替代或补充。
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Quartz Cleaning Kit：专用石英件清洗液与工具，用于清洁AMAT 0090-76133表面污染物。
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CF Flange 100mm：标准真空法兰，AMAT 0090-76133的安装接口，确保兼容性。
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Laser Interferometer Module：用于膜厚监控的光学设备，依赖AMAT 0090-76133的透光性能。
AMAT PM Kit-Etch Chamber：包含AMAT 0090-76133在内的全套预防性维护备件包。
安装前准备：在更换AMAT 0090-76133前，务必确认设备已停机、泄压并冷却至室温。检查新窗口是否有运输损伤，表面是否洁净无划痕。准备好洁净室专用工具（如无尘手套、扭矩扳手），并确认密封圈（O-ring或金属垫片）为新品且型号匹配。清洁法兰面时使用高纯异丙醇（IPA）和无尘布，避免颗粒残留。
维护建议：AMAT 0090-76133的寿命取决于工艺类型和使用频率。高功率氟基刻蚀会加速石英侵蚀，建议每2-3次PM周期检查一次表面状态。若发现轻微雾化，可尝试专业清洗；若出现裂纹或严重剥落，必须立即更换。记录每次更换时间与工艺履历，有助于预测下次维护周期。安装时按手册规定扭矩均匀拧紧螺栓，避免应力不均导致破裂。
产品保障
我们为每一片AMAT 0090-76133提供原厂级质量检测，包括氦检漏测试、表面洁净度检查和光学透射率验证，确保其完全符合半导体制造的严苛标准。所有产品均为全新原装或经过AMAT认证的翻新件，杜绝二手翻新与仿制品。我们提供24个月的质量保证，覆盖因材料或制造缺陷导致的失效。同时，我们的技术支持团队熟悉AMAT设备维护流程，可提供安装指导、故障分析和备件管理建议，助力Fab提升设备综合效率（Overall Equipment Effectiveness,OEE）。
Global Semiconductor Support:
We provide specialized technical support for AMAT 0090-76133 and other critical chamber components,ensuring seamless integration and optimal performance in high-volume manufacturing environments.
Trusted Quality&Supply Chain:
With strict quality controls and global inventory,we guarantee authentic AMAT 0090-76133 components that meet SEMI standards.Our commitment to reliability makes us a preferred partner for semiconductor fabs worldwide.
