描述
AMAT 0090-03467 半导体设备腔室组件
产品型号0090-03467
制造商AMAT（应用材料/Applied Materials）
产品类型等离子体刻蚀腔室顶盖组件（Upper Electrode Assembly）
适用平台AMAT Centura DPS/GTS/eMAX（P5000系列）
材质6061-T6高纯度铝合金
表面处理硬质阳极氧化（Hard Anodize）
功能集成气体喷淋板（Showerhead）、热电偶通道
喷孔数量约300-400个（微米级孔径）
安装方式法兰螺栓固定，O型圈密封
工作温度最高可达150°C（持续）
耐压等级真空环境（1 mTorr-10 Torr）
工艺兼容性氟基/氯基等离子体（CF₄,CHF₃,Cl₂,BCl₃等）
洁净等级Class 100（ISO 5）出厂标准
配套部件O-ring密封圈、接地带、气体接头
应用领域
AMAT 0090-03467广泛应用于半导体前道制程（Front-End-of-Line,FEOL）和后段制程（Back-End-of-Line,BEOL）中的等离子体刻蚀工艺。在逻辑芯片制造中，它常用于浅沟槽隔离（STI）、多晶硅栅极（Poly Gate）和金属互连层的刻蚀。其均匀的气体分布能力，确保了纳米级结构的高保真复制。
在存储芯片领域，无论是DRAM还是3D NAND闪存，0090-03467都在高深宽比（High Aspect Ratio）刻蚀中发挥关键作用。例如，在3D NAND的字线刻蚀中，需要极高的各向异性（Anisotropy）和均匀性，而AMAT 0090-03467提供的稳定等离子体环境，正是实现这一目标的基础。
除了主流逻辑与存储，它也适用于功率器件（如IGBT、MOSFET）和MEMS（微机电系统）的刻蚀工艺。在这些应用中，对工艺重复性和设备稳定性要求同样严苛。0090-03467的高可靠性和长寿命，能够显著降低设备的拥有成本（CoO）。
甚至在先进封装（Advanced Packaging）中的硅通孔（TSV）刻蚀环节，部分改良型Centura设备也会采用类似结构的腔室组件，可见其技术平台的延展性和行业影响力。
相关产品
0090-03468：同系列腔室侧壁组件，与0090-03467配合使用，构成完整腔体结构。
0100-22245：用于Centura的O型密封圈套件，更换0090-03467时需同步检查或更换。
0090-03466：下电极（卡盘）组件，与0090-03467形成射频电场，协同完成刻蚀。
0090-03469：气体分配环（Gas Distribution Ring），辅助0090-03467实现更均匀气流。
P5000 Chamber Kit：包含顶盖、侧壁、密封件的完整腔室维护套件，常以0090-03467为核心。
AMAT 3450D：Centura平台的射频发生器，为0090-03467与下电极提供等离子体激励。
0090-03470：喷淋头（Showerhead）独立模块，可替换0090-03467内部喷孔部件。
AMAT 9850：设备诊断软件，可用于监控0090-03467相关的工艺参数和报警历史。
安装前准备：在更换AMAT 0090-03467前，必须将设备置于“维护模式”，关闭射频电源、气体供应和真空系统。使用专用升降工具拆卸旧顶盖，避免碰撞腔体内部。检查新0090-03467的喷淋孔是否通畅，O型圈槽有无划伤。安装时使用扭矩扳手，按对角顺序均匀紧固法兰螺栓，确保密封性。连接好接地带和热电偶线缆，避免虚接。
维护建议：定期检查0090-03467的阳极氧化层是否有剥落或腐蚀迹象，特别是在高功率NF₃清洗后。建议每3-6个月进行一次离线清洗，去除氧化物沉积。记录每次更换的运行周期（Wafers Processed），建立寿命预测模型。保存旧件用于失效分析（FA），有助于优化工艺参数和延长备件寿命。
产品保障
我们为每一件AMAT 0090-03467提供原厂品质验证，确保材料、工艺和洁净度符合应用材料的技术规范。所有产品均来自正规渠道，支持序列号追溯，杜绝翻新或仿冒风险。我们提供不少于12个月的质量保证，涵盖因材料或制造缺陷导致的性能问题。同时，我们的技术支持团队熟悉Centura平台的维护流程，可提供安装指导、工艺匹配建议和故障排查协助。选择我们，就是选择对半导体产线稳定运行的坚定承诺。
We are committed to delivering only genuine,high-integrity components for critical semiconductor applications.Every AMAT 0090-03467 undergoes rigorous inspection for surface quality,dimensional accuracy,and cleanliness before shipment.Our supply chain adheres to strict traceability standards,ensuring full compliance with semiconductor manufacturing requirements.
With deep expertise in Applied Materials platforms,we offer more than just parts—we provide reliable solutions that minimize tool downtime and support consistent process performance.Whether you’re managing a single fab line or a global production network,our responsive service and technical knowledge make us a trusted partner in sustaining high-yield manufacturing.
