描述
产品核心摘要
- 型号: 0123-3615
- 品牌: 应用材料 (Applied Materials / AMAT)
- 系列: 半导体制造设备备件
- 核心功能: 为半导体工艺腔室提供稳定的射频能量
- 产品类型: 射频电源模块 (RF Generator)
- 关键规格: 频率 13.56 MHz / 功率输出 300W / 风冷散热
- 成色: 全新原装 (New Surplus)
产品深度介绍
AMAT 0123-3615 是应用材料公司（Applied Materials）生产的一款专用射频电源模块，广泛应用于其半导体制造设备中，如刻蚀机台和薄膜沉积（PVD/CVD）系统。作为工艺核心组件，它负责产生高稳定性的射频能量，用于激发工艺腔室内的气体，形成等离子体，从而完成晶圆表面的刻蚀或薄膜沉积。该模块采用工业级标准设计，具备出色的功率控制精度和长期运行稳定性。其内部集成了完善的保护电路，能够实时监控反射功率、温度和内部状态，确保在苛刻的半导体制造环境中安全运行。对于晶圆厂和系统集成商而言，这款射频电源是保障产线良率和设备稼动率的关键备件。
关键技术规格
| 参数项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 产品型号 | 0123-3615 |
| 所属品牌 | 应用材料 (AMAT) |
| 产品类型 | 射频电源模块 (RF Generator) |
| 工作频率 | 13.56 MHz |
| 额定功率 | 300W |
| 冷却方式 | 风冷 |
| 输入电压 | 24V DC (控制) / 115V AC (主电源) |
| 通讯接口 | RS-232 / 模拟量接口 |
| 适用设备 | 刻蚀机台、薄膜沉积设备 |
