描述
AMAT 0041-75950 AMAT模块 半导体工艺设备专用备件现货
[AMAT 0041-75950]：这款半导体设备控制模块是Applied Materials(应用材料)晶圆制造设备的核心组件！专为蚀刻/沉积工艺设备设计，工作电压：48V DC，工作温度：0-50°C，适用于300mm晶圆生产线。我们提供原厂正品与专业技术支持，保障您的半导体设备稳定运行！
第三部分：产品详细说明
[AMAT 0041-75950]产品概述
AMAT 0041-75950是Applied Materials(应用材料)公司专为其半导体制造设备开发的高精度工艺控制模块。该模块主要应用于蚀刻机(Etcher)和化学气相沉积(CVD)设备中，负责工艺参数的精确控制和实时监测。
作为半导体制造设备的关键部件，0041-75950采用超高精度传感器接口和抗干扰设计，确保在洁净室环境中长期稳定工作。模块符合SEMI标准，满足半导体制造对可靠性和精度的严苛要求。
主要特点和优势
1.超高精度控制
采用24位Σ-ΔADC技术，实现±0.01%的工艺参数测量精度，确保晶圆加工质量的一致性。
2.实时过程监控
内置多通道数据采集系统，可同时监测温度、压力、气体流量等关键工艺参数，采样速率达1kHz。
3.增强的通信能力
支持SECS/GEM半导体设备通信标准和EtherCAT工业以太网协议，实现与工厂MES系统的无缝对接。
4.洁净室优化设计
符合Class 1洁净室标准，采用特殊涂层防止微粒产生，确保不会污染晶圆生产环境。
5.快速故障诊断
配备完善的自诊断功能和LED状态指示，可快速定位故障点，减少设备停机时间。
Technical Highlights:
The AMAT 0041-75950 is a precision process control module designed for semiconductor manufacturing equipment.Featuring 24-bitΣ-ΔADC technology,it delivers exceptional±0.01%measurement accuracy for critical process parameters.
With support for SECS/GEM and EtherCAT protocols,the module ensures seamless integration into fab automation systems.Its cleanroom-optimized design meets stringent particle generation requirements for advanced wafer processing.
[AMAT 0041-75950]技术规格
参数名称参数值
产品型号0041-75950
制造商Applied Materials
产品类型工艺控制模块
工作电压48V DC(±5%)
通信协议SECS/GEM,EtherCAT
测量精度±0.01%
采样速率1kHz
工作温度0°C至50°C
洁净等级Class 1
接口类型高密度航空连接器
尺寸200mm×150mm×40mm
应用领域
AMAT 0041-75950主要应用于：
半导体前道工艺：蚀刻、CVD、PVD等设备
300mm晶圆制造：逻辑芯片、存储器生产线
先进封装：2.5D/3D封装工艺设备
显示面板制造：OLED蒸镀设备控制系统
光伏电池：高效太阳能电池生产设备
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