产品核心摘要
- 型号：220DD-00100D2B
- 品牌：MKS Instruments
- 系列：Baratron 220DD 差压电容薄膜真空计
- 核心功能：测量两腔体之间微小差压，输出 0-10V 和 4-20mA 信号
- 产品类型：差压电容式真空计 / 差压变送器
- 关键规格：10 Torr 满量程；精度 ±0.15% 读数；传感器恒温 45°C；0-10VDC + 4-20mA 双输出
- 成色：全新原装 (New Surplus)
产品深度介绍
MKS 220DD-00100D2B 是 MKS Instruments Baratron 220DD 系列差压电容薄膜真空计，用于测量两个工艺腔体之间的微小压力差。型号中 “00100” 代表 10 Torr 满量程，”D2B” 为电气接口与输出配置代码。该传感器采用 Inconel 隔膜电容技术，内部恒温控制在 45°C，精度可达读数的 ±0.15%，不受气体种类影响。 同时提供 0-10VDC 和 4-20mA 两路模拟输出，可直接接入 PLC/DCS 系统。广泛应用于半导体刻蚀、CVD/PVD 腔室差压监测、真空镀膜工艺压差控制等场景。
关键技术规格
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | 220DD-00100D2B |
| 品牌 | MKS Instruments |
| 系列 | Baratron 220DD |
| 测量类型 | 差压 (Differential) |
| 满量程 | 10 Torr（约 1.33 kPa） |
| 精度 | ±0.15% 读数 |
| 分辨率 | 0.01% 满量程 |
| 传感器温度 | 恒温 45°C |
| 模拟输出 | 0-10 VDC（>10kΩ 负载）+ 4-20 mA（<500Ω 负载） |
| 电气接口 | 15针 D-sub（配套接头 P/N MS306A-14S-6S） |
| 供电 | 115/230 VAC，50/60Hz |
| 外壳等级 | NEMA 1 |
| 接触材料 | Px 侧：Inconel；Pr 侧：Inconel/Ceramic/Palladium/Stainless/Glass |
| 过压极限 | 满量程 120% 或 20 psi（140 kPa），取较大值 |
| 零点温漂 | 0.005% 满量程/°C（>1 Torr） |
| 量程温漂 | 0.02% 读数/°C |
