AMAT 0190-31159原装进口滤芯
AMAT 0190-31159：这款高精度过滤芯是Applied Materials（应用材料公司）半导体制造设备指定的专用耗材。过滤类型：微孔过滤（气体或液体），主要功能：去除工艺流体中的微粒、颗粒物和杂质，应用系统：PVD（物理气相沉积）、CVD（化学气相沉积）、刻蚀（Etch）设备的气体管路、冷却系统或真空泵保护。采用高品质滤材，确保工艺纯净度。
AMAT 0190-31159产品概述
在半导体制造的纳米级工艺中，任何微小的颗粒污染都可能导致晶圆缺陷、良率下降甚至整批报废。因此，维持工艺环境的极致洁净是Fab厂（晶圆厂）的核心要求。Applied Materials(AMAT)作为全球领先的半导体设备供应商，其设备内部集成了多级精密过滤系统，以确保工艺气体、冷却液和真空环境的纯净。而0190-31159正是这些系统中使用的关键过滤元件（Filter Element）。
该型号0190-31159是AMAT为其特定设备平台（如Endura PVD,Centura CVD,Producer CVD,Reflexion CMP,或刻蚀设备等）设计的标准备件。虽然具体应用需参考设备手册，但根据AMAT的命名规则和行业惯例，0190-31159很可能是一款用于工艺气体管路或冷却液循环系统的筒式微孔过滤芯。
其主要作用是：
保护工艺腔室：在气体进入反应腔前，滤除压缩空气、惰性气体（N2,Ar）、工艺气体（如SiH4,NH3,Cl2,CF4等）中携带的金属颗粒、管道碎屑、油雾和凝结物，防止污染晶圆表面。
保护精密部件：防止颗粒物进入质量流量控制器（MFC）、阀门、喷淋头（Showerhead）等昂贵且敏感的部件，延长其使用寿命。
保障冷却系统：在设备的去离子水（DI Water）或冷却液回路中，过滤水垢、微生物和杂质，防止冷却通道堵塞，确保热控精度。
保护真空泵：在真空泵进气口前设置过滤器，捕获被抽走的工艺副产物颗粒，减少泵内积垢，维持抽气效率。
0190-31159过滤芯通常安装在标准的过滤器壳体（Housing）内，当滤芯达到使用寿命（通常通过压差增大、流量下降或定期预防性更换计划判断）时，只需更换内部的滤芯，而壳体可重复使用。
主要特点和优势
高过滤精度：采用聚四氟乙烯（PTFE）、聚偏二氟乙烯（PVDF）、尼龙（Nylon）或不锈钢烧结（Sintered Metal）等材质的微孔滤膜，过滤精度可达0.01μm至5μm（微米），能有效截留亚微米级颗粒，满足半导体工艺对洁净度的严苛要求（ISO Class 1或更高）。
高化学兼容性：滤材和密封件（如O型圈）选用耐强酸、强碱、有机溶剂和特种气体的材料（如FFKM全氟醚橡胶），确保在各种腐蚀性工艺环境下长期稳定工作，不发生溶胀、降解或析出污染物。
高流量与低压降：优化的滤芯结构设计（如折叠式、大表面积）能在保证高过滤效率的同时，提供较大的通量，减少系统压力损失，保障工艺气体流量的稳定性。
高洁净度与低析出：滤芯在制造过程中经过严格的清洗和包装（通常为洁净室环境），确保其自身不引入任何颗粒或离子污染（低TOC,低金属离子析出）。
长使用寿命：得益于高品质材料和结构设计，0190-31159具有较长的使用寿命，减少了更换频率和维护成本，有助于提高设备的uptime（运行时间）。
原厂认证与兼容性：作为AMAT指定备件，0190-31159经过设备原厂的严格测试和认证，确保与设备的完美匹配和性能保证，避免因使用非标滤芯导致的工艺波动或设备故障。
The AMAT 0190-31159 is a high-purity filter element designed for critical applications in Applied Materials semiconductor manufacturing equipment.It ensures the removal of sub-micron particles and contaminants from process gases,cooling fluids,or vacuum lines,maintaining the ultra-clean environment required for high-yield wafer fabrication.
Engineered for reliability and compatibility,the 0190-31159 filter element supports the performance and longevity of PVD,CVD,etch,and other AMAT process tools.
0190-31159技术规格(基于典型半导体级滤芯推断)
参数名称参数值(典型/估计)
产品型号0190-31159
制造商Applied Materials(AMAT)
产品类型微孔过滤芯(Cartridge Filter Element)
过滤介质PTFE,PVDF,Nylon或Sintered Stainless Steel(具体依应用)
过滤精度0.1μm,0.5μm,1μm,5μm(常见，需查手册确认)
滤芯尺寸长度:~250mm/~10英寸,直径:~65mm(需查手册确认)
接口类型222,226,DOE,或特定卡口(需查手册确认)
最大工作压力6 bar(g)/90 psig(典型)
工作温度-20°C至+85°C(或更高，依材质)
适用流体工艺气体(Ar,N2,O2,特气),DI Water,冷却液,真空
化学兼容性耐强酸、强碱、有机溶剂、特气
洁净度低颗粒释放,低TOC,低金属离子
认证标准SEMI,ISO 14644(洁净室),符合Fab厂要求
