AMAT 0190-09560 原装进口射频发生器 应用材料专用等离子体电源模块
第二部分：产品简要说明
AMAT 0190-09560：这款13.56MHz射频发生器（RF Generator），是应用材料公司（Applied Materials）半导体制造设备中的核心功率驱动模块！输出频率：13.56MHz（ISM工业频段），输出功率：0-2000W可调，匹配方式：自动阻抗匹配（Auto Matching）。专为PVD（物理气相沉积）、CVD（化学气相沉积）、刻蚀（Etch）等真空工艺设计，确保等离子体稳定激发，广泛应用于Endura、Producer、Centura等AMAT主流平台。
第三部分：产品详细说明
AMAT 0190-09560产品概述
在半导体、平板显示和先进封装制造中，射频（RF）电源是激发和控制等离子体的核心动力源。AMAT 0190-09560正是应用材料公司（Applied Materials）为其高端真空工艺设备定制的一款高性能射频发生器，广泛应用于其PVD（如Ti,TiN,Al沉积）、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）和干法刻蚀系统中。
该型号通常作为完整的RF子系统的一部分，集成在AMAT的工艺腔体（Process Chamber）外部，通过同轴电缆将高频能量传输至腔体内的电极或线圈，从而在低压气体环境中产生并维持稳定的等离子体。等离子体中的高能离子和自由基是实现薄膜沉积、表面改性或材料刻蚀的关键介质。AMAT 0190-09560的稳定性和精确控制能力，直接决定了工艺的均匀性、重复性和最终产品的良率。
型号中的“0190-09560”是AMAT的标准物料编号（Part Number），有时也写作019009560。它不仅是一个简单的“功率放大器”，更是一个集高频振荡、功率控制、阻抗匹配、状态监测与安全保护于一体的智能化功率模块。其设计符合半导体制造对洁净度、可靠性和长期稳定性的严苛要求。
主要特点和优势
先看其核心性能。AMAT 0190-09560工作在国际通用的工业、科学和医疗（ISM）频段13.56MHz，这是激发大多数工艺气体（如Ar,O₂,N₂,CF₄等）形成等离子体的理想频率。其输出功率可在0至2000瓦特（W）范围内精确调节，满足从低功率溅射到高功率刻蚀的多种工艺需求。
关键优势在于其集成的自动阻抗匹配网络（Auto Matching Network）。在等离子体工艺过程中，腔体内的阻抗会因气体成分、压力、功率和工艺状态的变化而动态改变。如果阻抗不匹配，会导致大量功率被反射回电源，不仅降低效率，还可能损坏射频发生器。AMAT 0190-09560内置的匹配网络能实时监测前向和反射功率，并自动调整内部可变电容/电感，使反射功率最小化（通常要求<5%），确保最大功率有效耦合到等离子体中，提升工艺稳定性和一致性。
可靠性与安全性方面，AMAT 0190-09560采用工业级元器件和严格的制造标准，具备过流、过压、过热和电弧保护等多种安全机制。它支持SECS/GEM通信协议，可无缝接入AMAT设备的主机控制系统（如SECS-II），实现远程启停、参数设定、状态监控和故障诊断，是构建智能化晶圆厂（Smart Fab）的重要组成部分。
The AMAT 0190-09560 RF Generator is a critical power module engineered for high-precision plasma processes in semiconductor manufacturing.Delivering up to 2000W at 13.56MHz with integrated auto-matching,it ensures stable plasma ignition and consistent process performance in Applied Materials’PVD,CVD,and etch systems.
Designed for reliability and seamless integration,the AMAT 0190-09560 supports advanced process control and monitoring via SECS/GEM.Its robust performance in demanding cleanroom environments makes it essential for maintaining high yield and process repeatability in advanced wafer fabrication.
AMAT 0190-09560技术规格
参数名称参数值
产品型号0190-09560(或019009560)
制造商Applied Materials(AMAT)
产品类型射频发生器(RF Generator)/射频电源
输出频率13.56 MHz±0.05%
输出功率范围0-2000 W(可调)
匹配方式集成自动阻抗匹配网络(Auto Matching)
反射功率<5%(典型值，匹配良好时)
冷却方式强制风冷或水冷(依具体配置)
控制接口模拟量(0-10V)/数字量(SECS/GEM)
通信协议SECS-II,GEM(Generic Equipment Model)
电源输入三相208-480V AC,50/60 Hz
应用平台AMAT Endura,Producer,P5000,Centura等
